4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、发动,线、调查涡轮分子泵读数抵达250今后,关予抽,开前机和高阀持续抽真空,抽真空抵达某些特定的程度后才能开右边的高真空表头,调查线今后才能开电子枪电源。
2、真空镀膜设备一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源:汽车玻璃镀膜按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及维护灯亮,三分钟后延时及维护灯灭,若后门未关好或水流继电器有毛病,维护灯展常亮。
3、开高压,高压会到达10KV以上,调理束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摇摆。
2、待分子泵显现到50时,顺次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
2、将翻面输入信号人工短接,运用翻面检测功用,核算机能检测到信号时,证明问题在翻面操控开关上,根据状况做相应处理。检测不到信号首要查看线路,然后替换操控卡。
3、用一只5MHz的晶体直接插入振荡器输入端丈量频率,若有频率证明是探头问题,若无频率,用计数器丈量一下振荡器输出频率是否反常,无正常输出证明振荡器有问题,有正常输出但核算机无显现证明操控卡有问题
1、数字真空计呈现不正常数字,且30秒内无变化,例如0.00-4(国产真空计常见)现象